Наноструктурирование алмазоподобных пленок

Статья. Опубликована в материалах VIII Международного семинара Методологические аспекты сканирующей и зондовой микроскопии-2008, с. 56 - 63Применение защитных и функциональных покрытий на рабочих поверхностях контактных сопряжений и узлов трения позволяет успешно решать ряд проблем износостойкости и долговечности деталей механизмов для различных отраслей промышленности − от автомобиле- и тракторостроения до приборостроения и часовой промышленности. На практике требуемые эксплуатационные свойства трибосопряжений обеспечиваются путем формирования на их рабочих поверхностях тонких покрытий (пленок) микронной и субмикронной толщины, обладающих улучшенными физико-механическими характеристиками, в первую очередь, высокой твердостью и износостойкостью. Такие сверхтвердые пленки и покрытия уже широко используются в микроэлектромеханических системах, прецизионном машиностроении и приборостроении, голографической индустрии и медицине. Все это требует использования специальных методов контроля свойств и проверки качества пленок и тонких покрытий. При
этом даже в настоящий момент количественная характеризация свойств таких объектов, связанная с оценкой их структурных параметров и физико-механических свойств, является сложной технической задачей. В этой связи в настоящей работе использован метод атомно-силовой микроскопии для оценки структурного строения и свойств алмазоподобных пленок в зависимости от их микротвердости.